據(jù)中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道,三星(Samsung)明年可能導(dǎo)入極紫外光(EUV)技術(shù)生產(chǎn)內(nèi)存,美光(Micron)企業(yè)副總裁、中國(guó)臺(tái)灣美光董事長(zhǎng)徐國(guó)晉表示,美光不打算跟進(jìn),目前并無(wú)采用 EUV 計(jì)劃。
市調(diào)機(jī)構(gòu)集邦科技預(yù)計(jì),明年動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)可能跨入 EUV 世代,將由三星搶先導(dǎo)入 EUV 技術(shù),以提升成本結(jié)構(gòu)與生產(chǎn)效率。
IT之家了解到,臺(tái)媒指出,徐國(guó)晉 7 日接受采訪時(shí)表示,美光目前采用浸潤(rùn)式設(shè)備,配合其他制程可以達(dá)到一樣的效果,并無(wú)采用 EUV 計(jì)劃。
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